近年來，在半導(dǎo)體工業(yè)中，對臭氧的應(yīng)用越來越多。臭氧被廣泛運用在晶圓清洗和電子元件清洗中。

德國ANSEROS安索羅斯公司研發(fā)的臭氧發(fā)生器MEGAGEN系列COM-VD，在半導(dǎo)體加工等方面發(fā)揮很大作用。

/ Anseros 安索羅斯 /

ANSEROS公司是一家專業(yè)的臭氧應(yīng)用技術(shù)開發(fā)和生產(chǎn)臭氧發(fā)生、檢測相關(guān)產(chǎn)品的德國企業(yè)，主要產(chǎn)品有臭氧氣相分析(濃度檢測)儀、臭氧液相分析儀、臭氧發(fā)生器、橡膠臭氧老化機、臭氧化空氣應(yīng)用設(shè)備等。其臭氧分析儀和臭氧老化箱技術(shù)處于世界領(lǐng)先地位。

德國ANSEROS公司先進(jìn)的技 術(shù)和質(zhì)量過硬產(chǎn)品已經(jīng)銷往70多個國家?？藙谒?。諾爾馬赫教授獲得2005年中國國家友誼獎。

（注：翁開爾上海公司為德國ANSEROS安索羅斯公司代理）

產(chǎn)品優(yōu)勢

ANSEROS安索羅斯臭氧發(fā)生器COM-VD系列是專門為獲得高濃度臭氧而設(shè)計的。在低氧氣消耗量的氣相中，臭氧最高濃度可達(dá)到 300g O3/Nm3。

MEGAGEN系列臭氧發(fā)生器COM-VD可以與ANSEROS安索羅斯AOPR反應(yīng)器配合使用，其質(zhì)量轉(zhuǎn)移效果非常好，可以將大量的臭氧轉(zhuǎn)換成液相，從而達(dá)到強力去除COD的目的。

臭氧發(fā)生器COM-VD系列 產(chǎn)品特點

·超高臭氧濃度

·低耗氧量

·低功耗

·相關(guān)反應(yīng)性高

·低AOPR（高級氧化工藝）能耗

·不產(chǎn)生顆粒物

·質(zhì)量保證

臭氧發(fā)生器COM-VD系列 產(chǎn)品應(yīng)用

·研究與開發(fā)

·半導(dǎo)體加工

·超純水處理、污水處理、飲用水處理、工業(yè)水處理

·水殺菌

·試驗裝置

·食品、藥品生產(chǎn)

臭氧發(fā)生器在半導(dǎo)體晶圓清洗上的應(yīng)用

晶圓清洗是目前半導(dǎo)體生產(chǎn)線上重要、嚴(yán)謹(jǐn)?shù)墓ば蛑弧Ｔ诤芏嗟那逑垂ば蛑?，只要有一道工序達(dá)不到要求，就會導(dǎo)致芯片報廢和流程不順暢。

傳統(tǒng)的RCA清洗法需要大量的化學(xué)試劑，帶來了成本的增加以及均勻性不一致的問題。而臭氧是一種具有較強氧化性的氣體，把它溶解在超純水中，噴灑在晶圓表面，可以將表面的有機污染物氧化為二氧化碳和水，非常容易就可以去除表面有機物，同時還會在晶圓表面形成一層致密的氧化膜。

因此，德國ANSEROS安索羅斯臭氧發(fā)生器非常適合運用在半導(dǎo)體，特別是晶圓清洗上。也能適用于污水處理、 飲用水處理 、工業(yè)水處理等多個領(lǐng)域。

作為國內(nèi)老牌檢測儀器代理商，翁開爾（上海）公司致力于引進(jìn)國外先進(jìn)的檢測技術(shù)以及產(chǎn)品。一直以來與德國臭氧老化設(shè)備生產(chǎn)企業(yè)：ANSEROS安索羅斯公司緊密合作，力求為行業(yè)客戶提供完善的產(chǎn)品解決方案。

客戶體驗中心

今年6月，翁開爾（上海）二樓客戶體驗中心全面升級、正式啟用。

未來，這里將有望承辦開展各項行業(yè)內(nèi)專題研討會、展會等，并迎接海外供應(yīng)商的蒞臨。充分展現(xiàn)翁開爾公司作為世界知名化工原料 & 檢測儀器代理商的品牌形象，進(jìn)一步彰顯翁開爾的品牌價值。

翁開爾上海公司 竭誠歡迎您的來訪！

如您有任何需要，歡迎來電：400-800-0526，與我們?nèi)〉寐?lián)系。

翁開爾公司創(chuàng)立于1925年，我們在實驗室檢測、水性化工方面擁有豐富的經(jīng)驗。

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我們致力于成為行業(yè)的專家，以滿足客戶多方位的要求。